至今国内各大集成电路制造厂家所需的硅片基本上是依靠进口。目前国内虽已 可 拉 制
８ｉｎ的硅单晶和小批量生产６ｉｎ的硅外延片，然而都未形成稳定的批量生产能力，更谈不上
规模生产。建议国家集中人力和财力，首先开展８ｉｎ硅单晶实用化和６ｉｎ硅外延片探究开发，
到２０１０年左右，我国应有８～１２ｉｎ硅单晶、片材和８ｉｎ硅外延片的规模生产能力；更大直径
的硅单晶、片材和外延片也应及时布点研制。另外，硅多晶材料生产基地及其相配套的高纯
石英、气体和化学试剂等也必须同时给以重视，只有这样，才能逐步改观我国微电子技术的
落后局面，进入世界发达国家之列。