虽说多线切割机的金属线颤动对硅片有两个方面的影响，但有利的一面影响很小，真正
影响大的还是在不利的一面。金属线的颤动，在一定程度上影响了加工质量，而且还会使切
割的损耗系数增大，造成硅棒的出片率下降。减少多线切割机金属线的颤动是改善硅片加工
质量和提高硅棒出片率的有效措施。
怎样才能减少金属线的颤动呢？要想解决金属线的颤动，就应首先搞清金属线颤动的原第７章 多晶硅铸锭与切片 １６１
因。多线切割机金属线的颤动原因很多，比如，主轴的加工误差、金属线上的金刚石砂与硅
料的摩擦造成的撞击或暂停、主轴瞬时的速度差、走线系统的张力不足等都可以引起金属线
颤动，但最主要的还是走线系统的张力不足。
张力是影响金属线颤动振幅的最关键因素，金属线张力增加，使系统刚度增加，从而振
幅减小，金属线张力微小的波动都会引起振幅的巨大变化。由此看来，要想解决金属线颤
动，就应该首先解决走线系统张力不足的问题。如果走线系统的张力足够大，上述的一些影
响就会减少，金刚石砂与硅料摩擦造成的撞击或暂停现象就不会发生。可以说，减少金属线
颤动的最好方法就是增加走线系统的张力。
走线系统的张力也不能太大，因为金属线很细，新的金属线的直径为０．１６～０．２５６ｍｍ，
使用后经磨损，最后只有０．１０ｍｍ，甚至更细，因此承受张力的能力有限，如果张力太大，金
属线会被崩断，造成整个切割过程中断。走线系统理想的张力，应该是金属线绷得紧、颤动
小，而且不会被崩断。为了保险起见，在实际操作中，走线系统的张力都控制在３０Ｎ之内。
要想让两个线轮转速相同很容易，可多线切割机上两个线轮是走线速度相同，而不是转
速相同，因此走线系统的张力控制就变得比较复杂了。
目前，多线切割机走线系统的张力都实现了自动控制，图７２８所示是力矩电机走线系
统的张力控制示意图。从图７２８中可以看出，整个走线系统由切割辊轮组、金属线、导线
轮、收线紧线轮、放线紧线轮、放线轮和收线轮组成。
