生产三氯氢硅用的是沸腾炉，生产时，先将炉温升高，再将硅粉从合成炉 （沸腾炉）上部
加入，同时，氢气从合成炉 （沸腾炉）下部通入，使硅粉与氢气在炉内相遇。氢气吹动硅粉，
产生浮动，也就是沸腾状态，使硅粉与氢气充分接触，从而发生化学反应，合成出三氯氢硅。
如果从合成炉 （沸腾炉）上部加入的不是硅粉，而是硅块，硅块与氢气在炉内相遇时就不可能
被氢气吹动，也就不可能产生沸腾状态。因此，生产三氯氢硅时要用粉状工业硅。
一般生产四氯化硅用的是固定炉，不需要沸腾，因此，生产四氯化硅时可以用块状工业硅。