对三氯氢硅和四氯化硅的提纯一般是采用精馏法，除此之外，还可以采用吸附的方法来
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湿氮去磷示意图
Ａ—加湿器；Ｂ—湿氮去磷器
提纯。
吸附提纯是利用分子大小和极性的不同，采用特定的吸附剂将杂质与被提纯物分离的技
术。此法在气态物质提纯方面被广泛采用。硅胶、活性氧化铝、活性炭、分子筛及分子筛炭等
吸附剂都是具有高孔隙率的材料。分子筛的孔径依型号的不同而异。３Ａ、４Ａ、５Ａ、１０Ｘ、
１３Ｘ分子筛分别能吸附直径小于３?、４?、５?、９?、１０?的分子，而排斥大于该直径的分子。
由这种分子筛产生的分离称为阻位分离。用分子筛炭作吸附剂时，各种分子都能通过，但以不
同的速度扩散，靠扩散速度之差来实现分离称为动力学分离或平衡分离。在超提纯技术中多采
用阻位分离过程。
吸附提纯就是使三氯氢硅和四氯化硅通过吸附剂，以吸附剂把三氯氢硅和四氯化硅中的杂
质吸附除去。三氯氢硅和四氯化硅提纯所用的吸附剂，要根据所要去除的杂质来选择，可以是
各种活性炭，也可以是硅胶，还可以是分子筛。
吸附提纯法对于四氯化硅提纯是很有效的，由于四氯化硅是没有偶极矩的对称分子，而要
去除掉的三氯化硼和三氯化磷等杂质都是具有相当大的偶极矩的不对称分子，因此很容易被吸
附剂吸附。
