四氯化硅或三氯氢硅合成炉出来的产物不是单一的四氯化硅或三氯氢硅，而是伴随有很多
其他氯化物的混合物。为叙述方便，提纯时可以将其分成组分。怎样来分呢？
在四氯化硅里，这些伴随物的沸点，有的比四氯化硅高，也有的比四氯化硅低，提纯时可
以将其分成三个组分。其中低沸点的 （ＳｉＨＣｌ３、ＳｉＨ２Ｃｌ２、ＳｉＨ３Ｃｌ、ＢＣｌ３、ＳｉＨ４ 等）为Ｂ组
分，四氯化硅的沸点居中为 Ａ组分，高沸点的 （ＰＣｌ３、ＣＣｌ４、ＡｌＣｌ３、ＳｂＣｌ３、ＦｅＣｌ３、ＩｎＣｌ３、
ＰｂＣｌ２、ＮｉＣｌ２、ＣｕＣｌ、ＭｇＣｌ２、ＡｇＣｌ等）为Ｃ组分。
在三氯氢硅里，伴随物的沸点也同样有的比三氯氢硅高，也有的比三氯氢硅低，提纯时，
把它看成三个组分，其中低沸点的 （ＳｉＨ２Ｃｌ２、ＳｉＨ３Ｃｌ、ＢＣｌ３、ＳｉＨ４ 等）为Ｂ组分，三氯氢
硅的沸点居中为 Ａ 组分，高沸点的 （ＳｉＣｌ４、ＰＣｌ３、ＣＣｌ４、ＡｌＣｌ３、ＳｂＣｌ３、ＦｅＣｌ３、ＩｎＣｌ３、
ＰｂＣｌ２、ＮｉＣｌ２、ＣｕＣｌ、ＭｇＣｌ２、ＡｇＣｌ等）为Ｃ组分。
蒸馏只能将两个组分分开，而从合成炉出来的四氯化硅和三氯氢硅都是由三个组分组成
的，怎么办？可以先将三个组分中其中两个组分合并成一个组分，这样一来，三个组分就成了
两个组分。具体的方法有两种，以四氯化硅为例：一种是先将四氯化硅，也就是 Ａ 组分和高
沸点的Ｃ组分看成是一个组分，低沸点的Ｂ组分为一个组分，三个组分就变成了两个组分，
然后按双组分液体的蒸馏方法分离一次，最后，再将分离出来的四氯化硅和高沸点杂质的 Ｃ
组分，按双组分的混合物蒸馏方法再分离一次，就可以达到分离三个组分的目的；另一种是先
)"!将四氯化硅的 Ａ组分和低沸点的Ｂ组分看成一个组分，把高沸点杂质的Ｃ组分看成一个组分，
然后按双组分液体混合物的蒸馏方法分离一次，最后，再将分离出来的四氯化硅和低沸点的Ｂ
组分组成的混合物，按双组分液体混合物的蒸馏方法分离一次，也可以达到分离三个组分的
目的。
同样，三氯氢硅的精馏提纯也可以按上述方法来完成。