蒸发是发生在液体表面缓慢进行的汽化现象，是物质从液态转化为气态的相变过程。蒸发
在任何温度下都可以进行。例如，冬天洗过的衣服放在屋里也会慢慢由湿变干，其原因就是衣
服上的水被慢慢蒸发掉了。不仅是水，很多的液体都会如此，生产多晶硅所用的三氯氢硅和四
氯化硅也不例外，它们也是会蒸发的。