由合成炉里出来的四氯化硅同三氯氢硅一样，也不是单一的四氯化硅，而是伴随有很多其
他的混合物，这些混合物称为四氯化硅的 “伴随物”；伴随物分为有硅和无硅两类。有硅的伴
)!'随物称为 “硅氯化物”（表４７）。
表４７ 四氯化硅中的一些其他硅氯化物
硅氯化物 相对分子质量 熔点／℃ 沸点／℃ 密度／（ｇ／ｃｍ３）
ＳｉＨＣｌ３ １３５．４４ －１２８．２ ３１．８ １．３３
ＳｉＨ２Ｃｌ２ １０１．０２ －１２２ １２
ＳｉＨ３Ｃｌ ６６．５４ －１８８ －１０ １．１４５
ＳｉＨ４ ３２．０９ －１８５ －１２２ ０．６８
注：ＳｉＨ４ 不属于氯化物，为方便起见，将它放在这里。
四氯化硅中的无硅伴随物也称为 “非硅氯化物”。由于这些伴随物主要是由工业硅带入的，
又由于四氯化硅与三氯氢硅都是同一种工业硅 （只是四氯化硅用的是工业硅块，而三氯氢硅用
的是工业硅粉），因此所含的杂质是一样的，所以这些非硅氯化物的种类同三氯氢硅中的也基
本一样。
四氯化硅的精馏也是采用多塔多级的连续精馏法，其方法同三氯氢硅的精馏提纯基本相
同，只是塔头的控制温度与三氯氢硅的精馏不一样。三氯氢硅沸点低 （３１．８℃），一般的冷却
水很难完成冷却任务，尤其是在夏季，气温已高过三氯氢硅的沸点，冷却水根本就无法把三氯
氢硅蒸气变成液体，所以必须采用冷冻盐水作为冷却剂，而四氯化硅就不同，它的沸点
（５７．６℃）高，因此，如果不是在炎热的地带、炎热的季节里就用不着冷冻盐水，一般的冷却
水就完全可以完成冷却任务。
前面已经介绍过三氯氢硅的精馏提纯，一般是采用多塔多级的连续精馏法。由于四氯化硅
的精馏提纯方法同三氯氢硅的基本相同，所以就不再细讲，具体情况参见本书的 三氯氢