多晶硅生产的关键就在于提纯，如果产品没有达到所需要的高纯度，就是废品，生产得再
多也没有用。因此，要想制备多晶硅，掌握提纯方法是非常重要的。对材料提纯的方法有很
多，但不外乎物理提纯和化学提纯两大类。
常见的提纯方法有挑选、清洗、磁选、浮选、筛选等都是物理提纯；利用 “偏析”原理所
实现的冶炼提纯，也是物理提纯，因为它只是让被提纯物发生温度变化，而没有发生化学反
应。物理提纯是有效的，可以将被提纯物提高到３Ｎ，甚至４Ｎ，但这对生产多晶硅来说，是不
够的，还无法使多晶硅达到所要求的纯度标准。可以想象，６Ｎ以上的纯度，其杂质含量仅占
硅的百万分之一，甚至更少。要想达到这样少的杂质含量，用物理提纯方法是根本无法实
)!(现的。
物理提纯方法无法实现，化学提纯方法还是可以的。化学提纯就是用化学的方法来提纯，
是使被提纯物发生化学变化 （使硅变成四氯化硅和三氯氢硅），然后采用化学常用的提纯方法
来提纯。对四氯化硅和三氯氢硅化学提纯的方法也有很多种，目前比较常用的有单一精馏法、
络合精馏法、固体吸附法、部分水解吸附法、萃取法、电解法、高温裂解除碳、铜屑去硫砷等
多种方法。以上的几种方法都各有所长，它们都可以单独使用。为求完美，也可以取长补短，
采用几种方法组合使用。
一般来说，一种方法只对一定的杂质有较好的提纯作用，而对另外一些杂质则效果较差，
不同方法对操作条件的要求也各不相同，条件控制得好，提纯效果显著；反之，条件用得不严
格，反而走向反面，即引进沾污。
络合精馏法是一种最有成效的方法，几乎能去除所有的杂质，但是它分离络合物还得依靠
精馏法，而且它还存在络合物的选择、处理、络合条件、减少沾污等具体问题，因此，在生产
中还是没能得到广泛采用。
固体吸附和部分水解吸附法是精馏法的好助手。前者对分离强极性杂质磷和金属氯化物特
别有效，后者对除硼特别有效，常被用于四氯化硅和三氯氢硅的提纯。
单一精馏法 （简称精馏法）是一种非常重要的提纯方法，它简单而有效，又可避免引进任
何试剂，绝大多数杂质都可通过此法去除，特别是难以除掉的非极性重金属氯化物也能用此法
去除。采用这种方法有利于减少沾污，工序简化，操作方便，而且适用于大规模工业生产。因
此，对于四氯化硅和三氯氢硅的提纯来说，大多数都是采用单一的精馏法.