精馏是提纯三氯氢硅和四氯化硅的一种有效方法，但因为磷、硼等杂质与三氯氢硅和四氯
化硅的蒸气压极为接近，所以精馏法对去除三氯氢硅和四氯化硅中的磷、硼等有害杂质不太有
效。如果在三氯氢硅和四氯化硅中掺入适量的某种杂质 （络合剂），使磷、硼等有害杂质变成
络合物。络合物一般是容易去除的，磷、硼等有害杂质就容易被去除。
络合剂的品种很多，有数百种，所以选络合剂是非常重要的。选择络合剂的一般原则
如下。
（１）能够与三氯氢硅和四氯化硅中的磷、硼等有害杂质形成化学和热学上高度稳定的络
合物。
（２）形成的络合物与三氯氢硅和四氯化硅不发生作用。
（３）形成的络合物的沸点与三氯氢硅和四氯化硅的沸点相差很大，最好是难以挥发的固体
或是极易挥发的气体。