在精馏操作中，不允许空气进入精馏塔的原因有如下三点。
（１）三氯氢硅和四氯化硅都极易水解，它们与空气中的水蒸气相遇会立刻发生水解反应，
生成二氧化硅和氯化氢。二氧化硅和氯化氢都是三氯氢硅和四氯化硅中的杂质，应该除掉。氯
化氢会腐蚀塔体和管道；二氧化硅会使三氯氢硅和四氯化硅变得浑浊，严重时，二氧化硅的固
体沉淀物会沉积堵塞筛板孔、填料、管道等，造成严重的生产事故。
（２）空气中除水汽之外，还含有大量杂质气体和尘埃，进入塔内，必然会沾污高纯的三氯
氢硅和四氯化硅，影响精馏提纯的效果，使产品质量下降。
（３）三氯氢硅是易燃易爆物质，不能与空气接触，与空气接触时，会与空气中的氧气或水
发生化学反应，甚至起火或爆炸，造成严重的生产事故。
为此，在三氯氢硅精馏操作中必须使用惰性的补充气体。如果有条件，最好安装补充气体