三氯氢硅合成的基本化学反应为：
Ｓｉ＋３ＨＣｌ→ＳｉＨＣｌ３ ＋Ｈ２ （６１）
生产实践表明，在三氯氢硅合成过程中，氯化氢转化率一般为８０％，有２０％的氯化氢没
有参加反应。生成的三氯氢硅气体，在冷媒温度为－４０℃冷凝器中，冷凝效果为８５％，约
１５％的三氯氢硅气体未被冷凝。
由未被冷凝的三氯氢硅气体和没有参加反应的氯化氢、氢气以及其他反应生成的副产品一
起组成尾气，其主要成分见表６１。
表６１ 还原炉尾气主要成分
成分 氯化氢（ＨＣｌ） 氢气（Ｈ２） 三氯氢硅（ＳｉＨＣｌ３） 其他 合计
含量体积／％ ３０．２ ６４．２ ５．４ ０．２ １００
最初，三氯氢硅合成的尾气直接放空。该尾气中含有大量的有毒物质，不加处理就直接放
空，会污染大气，对环境造成重大影响。现在，很多企业将尾气送尾气淋洗塔处理后，再以
“三废”的形式排放。这种尾气处理后再排放，虽然可以减少对环境的污染，但浪费问题没能
得到解决。
要知道，尾气中的三氯氢硅是本生产的产品；氯化氢和氢气都是本生产中所用的原料，就
这样作为 “三废”，白白排放掉，实在太可惜。不仅降低了原材料的利用率，致使产品单耗增
高，而且还浪费能源，成本增加，同时，也增加了 “三废”的排放量。大量氯化物难以处理，
也会使 “三废”处理的费用增高，并且给环境带来不良的影响。更可惜的是，这些被当成 “三
废”排放掉的尾气，实际上是可以回收的。
三氯氢硅合成的尾气具体怎样来回收呢？从尾气的主要成分可知，综合回收的关键是将三
氯氢硅气体与氯化氢、氢气分离，以便分别回收利用，实现三氯氢硅合成的闭路循环工艺流
程。其三氯氢硅合成的尾气回收工艺流程 三氯氢硅合成的尾气回收工艺流程
从三氯氢硅合成排出的尾气，经压缩后，先进水冷却器预冷，再进热交换器，与来自冷凝
)&"器的低温气体进行热交换，使温度进一步降低。从热交换器出来的尾气进入冷凝器，经－４５℃
的冷媒冷却，绝大多数的三氯氢硅被冷凝成液体，而氯化氢和氢气在－４５℃的温度下还是气
体。由于液气的密度不同，经气液分离器作用，三氯氢硅从尾气中分离出来，经精馏提纯合格
后，送还原车间使用。尾气中的其他部分 （氯化氢和氢气）送回合成氯化氢，再次参加合成三
氯氢硅，达到了循环使用的目的。
从中可以看出，该系统没有废气、废物排出，为闭路循环系统。
