在多晶硅生产中，主要有两个位置的尾气回收：一是三氯氢硅合成的尾气回收；二是还原
炉的尾气回收。还原炉尾气回收的有三氯氢硅、氯化氢和氢气，但最主要的还是氢气，所以还
原炉的尾气回收又称为 “氢气回收”，简称为 “氢回收”。
在多晶硅生产中，氢回收有湿法回收和干法回收两种。
湿法回收就是使还原炉的尾气进入淋洗塔，使尾气中的氯化氢和残留的二氯二氢硅、三氯
氢硅、四氯化硅等与水接触，发生化学反应，生成二氧化硅和盐酸。二氧化硅和盐酸的密度
大，所以留在淋洗塔的下面，而氢气密度小，独自向上顺管路进入氢气净化系统，经过净化合
格后，再经过加压，进入还原工序再次使用。
干法回收是根据氯硅烷能够吸收氯化氢的现象发明的。尾气与氯硅烷接触，让氯硅烷吸收
尾气中的氯化氢，也就是使其留下，让氢气独自向上顺管路进入氢气净化系统，经过净化合格
后，再经过加压，进入还原工序再次使用。被吸收的氯化氢再经解析塔解析，与氯硅烷分离。
分离出来的氯化氢可重新用于三氯氢硅生产。
湿法回收和干法回收的具体方法已经在第３章中介绍过，就不再重复，