停气与停水、停电一样会影响多晶硅生产，而且处理不当，同样会引发重大事故。因此，
人们在生产实践中也总结出一套处理突然停气的安全方法。
（１）氢气净化突然停气的处理。突然停氧气对氢气净化没有任何影响，但如果突然停氢气
问题就大了，净化系统应立即关闭进出阀门，并且同时通入氮气，保持系统内的正压。如果是
采用氢气再生，正在再生的系统也要立即关闭，像正在净化使用的系统一样，应通入氮气，保
!#*持系统内的正压。
（２）多晶硅氢还原突然停气的处理。同氢气净化一样，突然停氧气对氢气净化没有任何影
响，但如果突然停氢气问题就大了。没有了氢气，就没了原料气，也就无法保证还原的正常进
行，因此，需要立即停电降温，并且同时通入氮气，防止还原炉降温造成炉内负压。