制备超净高纯试剂酸的方法包括下列步骤。
２２ 新型电子化学品生产技术与配方
（１）原料液自高位槽底部靠重力自动流出，经流量计进入预热器预热后，自石英质材料
制作的蒸馏釜的顶部自动连续加入釜内，来自精馏塔的上部石英质材料制作的刺馏塔顶部的
馏出物靠推动力自动连续进入预热器，并与原料液进行逆流热交换。
（２）在蒸馏釜内以蛇管加热器的方式间接加热釜液，蛇管内装有功率可调的电炉丝。
（３）蒸馏釜内蒸出的气体连续上升，先经精馏塔的下部石英质材料制做的填料塔，再经
串联的刺馏塔，则反复进行部分冷凝回流、部分汽化，气、液两相在塔内反复密切接触，进
行质交换。
（４）刺馏塔顶部的馏出物经预热器预冷后靠重力自动进入冷凝器，并与冷却水进行逆流
热交换而冷凝为液体成品。
（５）来自冷凝器的液体成品靠重力自动通过插底管从顶部进入石英质材料制作的成品吸
收槽。
（６）自成品吸收槽底部流出的液体成品靠重力并经过质监罐检测后自动从顶部进入成品
储罐。
（７）蒸馏釜内的液面高度通过调节原料液流量的大小进行调节，并连续或间歇式排入残
液储罐。
从原料液自高位槽流出到液体成品自动进入成品储罐均发生在一个密封系统中，冷凝器
中循环使用的冷却水自成系统除外，相应设备上的排空管通过插底管进尾气吸收槽后直接室
外高位放空。