随着半导体技术的迅速发展，对超净高纯试剂的要求越来越高，在集成电路和超大规模
集成电路生产过程中，超净高纯试剂主要用于芯片及硅圆片表面的清洗，其质量对集成电路
的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。超净高纯试剂的品种很多，常用的超净
高纯试剂主要有：酸类如硫 酸、氢 氟 酸、硝 酸、盐 酸、磷 酸、醋 酸、混 酸；碱 类 如 氢 氧 化
铵；溶剂类如甲醇、乙醇、异丙醇、丙酮、丁酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、甲苯、二甲苯、环
己烷；其他类如过氧化氢、氟化铵水溶液等。这些试剂有的有腐蚀作用，有的有毒而产生污
染，因此，多年来国内外许多单位都在研究开发无毒或低毒的中性试剂。