１ 超净电子纯试剂
超净高纯试剂是集成电路 （ＩＣ） 制造工艺中的专用化学品，用 于 硅 片 清 洗、光 刻、腐
２０ 新型电子化学品生产技术与配方
蚀工序中。对这种高纯试剂中可溶性杂质和固态微粒要求非常严格，为适应ＩＣ 集成度不断
提高的需求，国际上半导体工业协会 （ＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＩｎｄｕｓｔｒｙＡｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ）近来推出Ｓｅｍｉ
Ｃ７ （适合０８～１２μｍ 工艺技术）和ＳｅｍｉＣ８ （适合于０２～０６μｍ 工艺技术）级别的试剂
质量标准。我国在原有 ＭＯＳ级、ＢＶⅠ级试剂的基础上，又制定出 ＢＶⅡ 级和 ＢＶⅢ 级试
剂标准 （相当于ＳｅｍｉＣ７）。