片，其是专门为超净高纯
试剂净化开发的一款过滤产品，它可以有效去除流体中０３μｍ 以
及以上的固体颗粒杂质，其拦截固体颗粒的方式不仅包括机械过
滤，即通过过滤器的孔径进行过滤，而且还可 以 利 用 ＺＰ４０ 系 列
的化学吸附作用，拦截流体中远小于０３μｍ 的固体颗粒杂质，在超净高纯试剂生产中可以
作为预过滤器。３Ｍ 公 司 研 发 了 一 种 化 学 改 性 剂，通 过 化 学 方 法 可 以 将 此 化 学 改 性 剂 “锁
２４ 新型电子化学品生产技术与配方
定”在ＺＰ４０的过滤介质中，这种化学改性剂可以有效 “吸附”高纯试剂的金属离子，这种
专利设计的产品只需要一个单循环就可以将流体中的金属离子降低到１０－９级含量。