各种元素杂质的扩散速率各不相同。同一种杂质，在气体中的扩散速率最快，在固体中的
扩散速率最慢，在液体中的扩散速率居中。杂质的扩散速率除了与杂质的浓度有关之外，还与
温度有关，温度越高，扩散速率也越快。衡量扩散速率快慢的是扩散系数。表７１是在１２００℃
时各种元素杂质在固体硅中的扩散系数。
表７１ 各种元素杂质在固体硅中的扩散系数
元素 硼（Ｂ） 铝（Ａｌ） 镓（Ｇａ） 铟（Ｉｎ）
扩散系数／（ｃｍ２／ｓ） ４×１０－１２ １０－１６～１０－１２ ４．１×１０－１２ ８．３×１０－１３
元素 磷（Ｐ） 砷（Ａｓ） 锑（Ｓｂ） 铜（Ｃｕ）
扩散系数／（ｃｍ２／ｓ） ２．８×１０－１２ ２．７×１０－１３ ２．７×１０－１３ 约１０－５
元素 金（Ａｕ） 锌（Ｚｎ） 铁（Ｆｅ） 锂（Ｌｉ）
扩散系数／（ｃｍ２／ｓ） 约１０－６ 约１０－６ １×１０－６ １．３×１０－５
从表７１中可以看出，硼、磷、砷、锑等杂质的扩散系数较小，在硅中的扩散速率较慢，
而铜、铁、金、锂等杂质的扩散系数较大，在硅中的扩散速率较快。