在单位时间内，杂质从熔体单位面积上蒸发出来的原子数与熔体中杂质浓度之比，称为杂
质的蒸发速率常数。表７２是硅中各种杂质蒸发的速率常数。
)'$表７２ 杂质蒸发的速率常数
杂质 硼（Ｂ） 铝（Ａｌ） 镓（Ｇａ） 铟（Ｉｎ）
蒸发常数／（ｃｍ／ｓ） ５×１０－６ １×１０－４ １×１０－３ ５×１０－３
杂质 磷（Ｐ） 砷（Ａｓ） 锑（Ｓｂ） 铜（Ｃｕ）
蒸发常数／（ｃｍ／ｓ） １×１０－４ ５×１０－３ ７×１０－２ ５×１０－５
杂质 钙（Ｃａ） 锰（Ｍｎ） 铁（Ｆｅ）
蒸发常数／（ｃｍ／ｓ） １×１０－３ ２×１０－４ ２×１０－５
从表７２中可以看出，硅熔体中的杂质锑、砷、镓最容易蒸发，而硼、铜、铁最难以
蒸发。