在硅中各种杂质的蒸发速率常数表中可以看出,硅熔体中的杂质锑、砷、镓最容易蒸发。
衡量杂质蒸发优劣的标准除了蒸发速率常数之外,还有一个杂质蒸发的时间常数。表73
中的数据是在区熔炉里试验得出的杂质蒸发时间常数。
表73 杂质蒸发时间常数
杂质 硼(B) 铝(Al) 镓(Ga) 铟(In)
蒸发时间常数 50h 2.5h 12min 3min
杂质 磷(P) 砷(As) 锑(Sb) 铜(Cu)
蒸发时间常数 2.5h 3min 0.2min 5h
杂质 锰(Mn) 铁(Fe)
蒸发时间常数 1h 10h
从表73中可以看出,锑是0.2min,因此,锑是最容易蒸发的元素。