项 目  １９９７年  １９９９年  ２００１年  ２００３年  ２００６年  ２００９年  ２０１２年
线型
／μｍ ＤＲＡＭ  ０２５  ０１８  ０１５  ０１３  ０１０  ００７  ００５
微处理器  ０２  ０１４  ０１２  ０１０  ００７  ００５  ００３５
样品  ２５６Ｍ  １Ｇ  １Ｇ  ４Ｇ  １６Ｇ  ６４Ｇ  ２５６Ｇ
产品  ６４Ｍ  ２５６Ｍ  １Ｇ  １Ｇ  ４Ｇ  １６Ｇ  ６４Ｇ
晶体管／（百万／ｃｍ２）  ３７  ６２  １０  １８  ３９  ８４  １８０
晶片尺寸／ｍｍ  ２００  ３００  ３００  ３００  ３００  ４５０  ４５０

通过表２４可以看出，随着集成电路集成度的不断提高，芯片面积的不断增大，对颗粒
控制的要求也越来越苛刻。缺陷对成品率的影响也越来越显著。大的芯片中包含的元件更
多，少数的缺陷就会导致整块芯片失效。