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高纯化学试剂生产中颗粒控制的重要性
2019-09-19
信息编号:1058563
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超大规模集成电路对高纯试剂颗粒的要求是非常严格的 (见表24),颗粒的粒径必须
控制在所使用的最小图形尺寸的1/10~1/5,同时还要控制颗粒的浓度,否则将严重影响集
成电路的质量和成品率。国外规定:1M 位电路时大于05μm 的颗粒少于100个/mL,4M
位电路时大于05μm 的颗粒少于1个/mL。以025μm 的 DRAM 为例,其晶体管的密度达
到37×106 个/cm2。如果颗粒控制出现问题,将对集成电路造成严重的损害。
制备超净高纯试剂酸的方法
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09-19
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