、开发和生产,现在的产品已能部分满足我国信息
产业的生产需求。现将两类比较重要的电子化学品的现状简要介绍如下。
① 集成电路用的电子化学品 关键的有4类。
a 超净高纯试剂。BVⅢ 级试剂已达到国外 SEMIC7 质量标准,适合于08~12μm
工艺 (1M~4M 值),已 形 成500t/a规 模 的 生 产 能 力,MOS 级 试 剂 已 开 发 生 产20 多 个 品
种,年产量超过4000t。
b 光刻胶。目前每年 生 产100t左 右,其 中 紫 外 线 负 胶 已 国 产 化。紫 外 线 正 胶 可 满 足