化学名 甲基丙烯酸三氯乙酯甲基丙烯酸共聚物
１０４ 新型电子化学品生产技术与配方
性能及用途
（１）物化性能 本品为淡黄色黏性液体，是一种分辨率、耐干刻蚀性兼优的电子束、软
Ｘ 线正性辐射线抗蚀剂。
（２）主要用途 产品作为电子束正胶用于大规模集成电路的电子束制版及光刻上。
产品质量标准
企业标准 （无锡化工研究设计院）
指标名称  指 标  指标名称  指 标
黏度（２５℃）／ｍＰａ·ｓ 
固体含量／％ 
水分／％ ≤ 
密度（２０℃）／（ｇ／ｃｍ３） 
金属杂质含量／１０－６ ≤  ５０±５
８±１
００２
０９０１
０５ 折射率 
分辨率／μｍ ≤ 
留膜率／％ ≥ 
电子束灵敏度／（Ｃ／ｃｍ２） 
针孔密度／（个／ｃｍ２） ≤  １４１
０５
９０
４５×１０－６～１０×１０－６
６

生产工艺路线 将甲基丙烯酸三氯乙酯及甲基丙烯酸单体分别进行纯化处理，而后于聚
合釜中聚合至分子量合格，经精制、干燥配制成成品胶。
４８ 甲基丙烯酸甲酯甲基丙烯酸共聚物
商品名 ＸＨＲＥＰ１
性能及用途
（１）物化性能 本品为淡黄色黏性液体，是一种性能稳定、分辨率和耐干刻蚀性兼优的
电子束、软 Ｘ 线正性辐射线抗蚀剂。
（２）主要用途  本产品是性能稳定的电子束正胶，可用于大规模集成电路的电子束制版
及光刻上。
结构式 ＣＨ ＣＨ
 

［ＣＨ２Ｃ］
３

Ｃ Ｏ
ＯＨ
［ＣＨ２Ｃ］
３

Ｃ Ｏ
Ｏ ＣＨ ３
相对分子质量 ２０×１０４～２５×１０４
产品质量标准
企业标准 （无锡化工研究设计院）
指标名称  指 标  指标名称  指 标
黏度（２５℃）／ｍＰａ·ｓ 
固体含量／％ 
水分／％ ≤ 
密度（２０℃）／（ｇ／ｃｍ３） 
金属杂质总含量／１０－６ ≤  ５０±５
８±１
００２
０８９
０５ 折射率 
分辨率／μｍ ≤ 
留膜率／％ ≥ 
电子束灵敏度／（Ｃ／ｃｍ２） 
针孔密度／（个／ｃｍ２） ≤  １４１３
０５
９０
２０×１０－６～４０×１０－６
６

生产工艺路线 将精制后的甲基丙烯酸甲酯及甲基丙烯酸加入聚合釜内聚合至分子量合
格后经精制、干燥、配胶制成成品胶。