化学名 氯甲基化聚苯乙烯
性能及用途
（１）物化性能 本品为淡黄色液体，是一种灵敏度、分辨率、耐干刻蚀 性 兼 优 的 电 子
第四章 电子工业用光刻胶 １０５
束、软 Ｘ 线、深紫外用负性辐射线抗蚀剂。
（２）主要用途 负性电子束抗蚀剂为负性远紫外、Ｘ 射线抗蚀剂兼用。本品可用于电子
束制版，也可用于深紫外翻版和光刻及软 Ｘ 线光刻。
结构式
［ＣＨ２ＣＨ］
師
師 帪
ｎ
ＣＨ２Ｃｌ
［ＣＨ２ＣＨ］
師
師 帪
ｍ
相对分子质量 １１５ｎ＋１６４５ｍ
产品质量标准
企业标准 （无锡化工研究设计院）
指标名称  指 标  指标名称  指 标
外观 
相对分子质量（Ｍ Ｗ） 
分子量分布 
氯甲化率／％ 
黏度／ｍＰａ·ｓ 
玻璃化温度（Ｔｇ）／℃  无色透明液体
５×１０４～１０×１０４
２５
４５～６０
６～８
１３０ 闪点（开口）／℃ 
金属杂质含量（Ｎａ、Ｋ）／（ｍｇ／ｋｇ） ≤ 
灰分／％ 
电子束灵敏度／（Ｃ／ｃｍ２）  ６０
０５
０００５
４×１０－６～７×１０－６
１
耐

分辨率／μｍ ≤ 耐腐蚀性（干法） 生产工艺路线 以聚苯乙烯与氯甲基醚反应，精制，加入溶剂配制而成。
４１０ 紫外正性光刻胶
原料及其规格
１，２萘醌２重氮基５磺酰氯 （以下简称２１５酰氯）
含量（氯值） ≥９８％
摩尔吸收系数 ４００ｎｍ＞７８０×１０３
６００ｎｍ＜１５
水分 ≤００２％
金属离子（Ｎａ、Ｆｅ） ＜１０×１０－６
三羟基二苯甲酮  含量≥９８％（质量）
混酚  有效酚含量≥９５％（质量）
甲醛  含量３６％～３７％（质量）
乙二醇单乙醚乙酸酯  含量≥９８％（体积）
丙酮  ≥９８％（体积）

消耗定额 （以每吨产品计）
２１５酰氯 ７０～８０ｋｇ
丙酮 ７００～８００ｋｇ
混酚 ３５０ｋｇ
甲醛 ２００ｋｇ
三羟基二苯甲酮 ４５～５０ｋｇ
乙二醇单乙醚乙酸酯 ６５０～７００ｋｇ
制法 紫外正性光刻胶由甲酚醛树脂、感光剂、溶剂和添加剂组成。首先合成甲酚醛树
脂和感光剂，反应式如下：
師
ｎ師 帪

ＯＨ
ＣＨ３
＋ ＣＨ２ＯＨ→＋ 師師 帪
ＣＨ
熿 燀
３

ＯＨ
ＣＨ 
燄 ２ 燅
ｎ
（混甲酚） （甲醛） （甲酚醛树脂
師
師 帪
）
ＳＯ２


師
Ｃｌ
Ｏ
Ｎ
２
師
＋師 帪

師
師 帪
Ｏ Ｃ

ＯＨ
ＯＨ
ＯＨ →師
師 帪
ＯＨ

師
師 帪
Ｏ Ｃ

ＯＤ
ＯＤ
ＯＤ
（２１５磺酰氯） （三羟基二苯甲酮）
１０６ 新型电子化学品生产技术与配方
Ｄ＝Ｈ
師
或師 帪
ＳＯ－


師
２
Ｏ
Ｎ
２
至少有一个
師
Ｄ＝師 帪
ＳＯ－


師
２
Ｏ
Ｎ
２
然后按照一定的比例加入溶剂及添加剂配胶，经过多级过滤，成为紫外正性光刻胶。
流程说明 （参见图４２） 首先合成 甲 酚 醛 树 脂。将 原 料 混 酚 和 甲 醛 送 入 不 锈 钢 釜，加
入适量草酸为催化剂，加热回流反应５～６ｈ，然后减压蒸馏去除水及未反应的单体酚，得到
甲酚醛树脂。第二，合成感光剂：将三羟基二苯甲酮和２１５磺酰氯加至丙酮中搅拌下溶解，
待完全溶解后，滴加有机碱溶液做催化剂，控制反应温度３０～３５℃，滴加完毕后，继续反
应１ｈ。将反应 液 冲 至 水 中，感 光 剂 析 出，离 心 分 离，干 燥。第 三，配 胶：将 合 成 的 树 脂、
感光剂与溶剂及添加剂按一定比例混合配胶，然后调整胶的各项指标使之达到要求。最后过
滤分装，光刻胶首先经过板框式过滤器粗滤，然后转入超净间 （１００级）进行超净过滤，滤
膜孔径０２μｍ。经超净过滤的胶液分装即为成品。