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    紫外负性光刻胶
    2019-09-19 信息编号:1058731 收藏
原料及其规格
聚异戊二烯橡胶 Mw:30万~40万
多分散系数 ≤25
1,4聚合 >95%
灰分 ≤002%(质量)
第四章 电子工业用光刻胶 107
二甲苯含量 ≥95%(体积)
水分 ≤005%(体积)
硫酸变暗 合格
水分 ≤02%
2,6双(对叠氮苯亚苄基)环己
酮(以下简称交联剂)含量 ≥98%(质量)
30℃在二甲苯中溶解度 ≥3%
消耗定额 (按生产每吨产品计)
聚异戊二烯  120~130kg
二甲苯  900~950kg

交联剂 3~4kg
制法 聚异戊二烯环化改性,反应式如下:

—CH2 CH3

HC

CH2

CH

CH
CH2—
H2

幑幐


CH2 CH3
·
H2
C
CH 
CH

CH

CH
CH2
幘幙

—CH2 CH

3C
CH2—
H2
C
CH2
CH2

C CH 

3  
OH


2CCH
H3
C
HC
CH2
H2
C
CH2
CH2
C
+CH3
然后加入交联剂等,经过多级过滤成紫外负性光刻胶
流程说明 (参见图43) 首先使聚异戊二烯在二甲苯中充分溶解,将温度升至105℃,
加入环化催化剂,保持反应温度105~110℃进行环化,反应过程中不断监测聚异戊二烯环
化的程度,到达规定程度时,加入终止剂,冷冻去除催化剂。在环化橡胶溶 液 中 加 入 交 联
剂,并调整胶液的各项应用参数达到要求,框式过滤,转入百级超净间进行超净过滤,滤膜
孔径02μm。洁净度达标后,分装。
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    09-19
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    09-19
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    性能及用途(1)物化性能为负性光刻胶,浅黄清亮黏性液体。能与醇、醚和其他有机溶剂相溶,微溶于水,易燃,遇光会发生聚合反应,在紫外光照射下光照部分发生聚合,曝光显影后得图像分辨率好、质量稳定,对二氧化硅...
    09-19
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    09-19