原料及其规格
聚异戊二烯橡胶 Mw:30万~40万
多分散系数 ≤25
1,4聚合 >95%
灰分 ≤002%(质量)
第四章 电子工业用光刻胶 107
二甲苯含量 ≥95%(体积)
水分 ≤005%(体积)
硫酸变暗 合格
水分 ≤02%
2,6双(对叠氮苯亚苄基)环己
酮(以下简称交联剂)含量 ≥98%(质量)
30℃在二甲苯中溶解度 ≥3%
消耗定额 (按生产每吨产品计)
聚异戊二烯 120~130kg
二甲苯 900~950kg
交联剂 3~4kg
制法 聚异戊二烯环化改性,反应式如下:
C
—CH2 CH3
HC
C
CH2
CH
CH
CH2—
H2
H
幑幐
+
C
CH2 CH3
·
H2
C
CH
CH
CH
CH
CH2
幘幙
C
—CH2 CH
3C
CH2—
H2
C
CH2
CH2
C CH
3
OH
←
-
2CCH
H3
C
HC
CH2
H2
C
CH2
CH2
C
+CH3
然后加入交联剂等,经过多级过滤成紫外负性光刻胶
流程说明 (参见图43) 首先使聚异戊二烯在二甲苯中充分溶解,将温度升至105℃,
加入环化催化剂,保持反应温度105~110℃进行环化,反应过程中不断监测聚异戊二烯环
化的程度,到达规定程度时,加入终止剂,冷冻去除催化剂。在环化橡胶溶 液 中 加 入 交 联
剂,并调整胶液的各项应用参数达到要求,框式过滤,转入百级超净间进行超净过滤,滤膜
孔径02μm。洁净度达标后,分装。