在氢氧化钠作用下，加热至２００～２２０℃制得２氯乙基乙烯基醚，与由氢氧化钠和肉桂酸作
用生成的肉桂酸钠及由碘甲烷与三乙胺反应生成的碘化甲基三乙基铵在反应釜中生成乙烯氧
乙基肉桂酸酯单体。单体经精制、在三氟化硼乙醚催化剂作用下在聚合釜内于低温进行阳
离子聚合，低温介质应用液氮。
产品规格
外观 淡黄色透明液体
固体含量／％ １０～１５
黏度（２５℃）／Ｐａ·ｓ ００３～００４５
水分 ＜０２
灰分 ＜３
金属杂质（Ｎａ、Ｋ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ａｌ） 均＜１×１０－６
性质 聚乙烯氧乙基肉桂酸酯光刻胶在曝光下几乎不受氧的影响，无需氮气保护。分辨
率高达１μｍ 左右、灵敏度较聚乙烯醇肉桂酸酯光刻胶高一倍，黏附性好、抗蚀能力强，图
形清晰、线条整 齐。耐 热 性 好、显 影 后 可 在１９０℃ 坚 膜３０ｍｉｎ 不 变 质。感 光 范 围 在２５０～
４７５μｍ 之间，特别对ｇ线 （４３６μｍ）十分敏感，是负性光刻胶。
用途 用于复印精细线条超高频晶体管，微波三极管等半导体元件及中大规模集成电路
制造，还能用于等离子腐蚀、等离子去胶等半导体工业的新工艺、新技术中。