产品规格
固体含量 根据实际要求
水分 ≤００５％（质量）
黏度 根据实际要求
应用实验 合格
性质 棕黄色透明液体。感光材料；室温下保存。
１０８ 新型电子化学品生产技术与配方
用途 半导体器件光刻及其他精细加工。