环化聚异戊二烯是一种优良的负性抗蚀剂,有优异的抗酸、抗碱性,良好的黏附性,较
高的分辨率及感度,是目前国内外用量较大的一种抗蚀剂。
主要原料及其规格
天然橡胶 工业级
异戊二烯 工业级含量>99%
丁基锂 化学纯
对甲苯磺酸 化学纯
苯酚 化学纯
消耗定额 以异戊二烯计聚合得率在90%以上。
制法 传统的生产方法是将天然橡胶或聚异戊二烯经环化反应制得环化天然橡胶或环化
异戊二烯橡胶。而现今生产上大多以异戊二烯为原料制备环化橡胶,该法又有二步法及连续
制备法二种。二步法中第一步是将异戊二烯单体合成为聚异戊二烯;第二步将聚异戊二烯经
环化反应制备环化橡胶然后经精制、配胶等工艺后制得抗蚀剂产品。
第四章 电子工业用光刻胶 111
连续制备法是由异戊二烯单体聚合成一定分子量的聚异戊二烯,然后停止聚合再连续环
化的方法。具体反应如下。