流程说明 （参见图４６） 高纯度的异戊二烯在经脱水精制过的二甲苯中溶解，加入丁
基锂引发剂，在聚合釜内进行聚合反应。待聚合反应产物的分子量及黏度符合要求后，加入
终止剂，使聚合反应停止，产物转入环化釜。加入环化反应催化剂对甲苯磺酸进行 环 化 反
应，待环化反应进行到一定程度时加入环化反应终止剂，进入洗涤器加水充分搅拌清洗反应
液，使金属杂质、催化剂进入水层分离，清洗后物料经浓缩，再加入适量交联剂、稳定剂，
配制出一定黏度和浓度的胶液，经过滤后得抗蚀剂产品。