。
32 新型电子化学品生产技术与配方
产品质量标准
指 标 名 称 MOS级企业标准
5~10μm 颗粒 BVⅠ级企业标准
2μm 以上颗粒 ELUM 级企业标准
05μm 以上颗粒
颗粒数/(个/100mL)
含量/%
色度(黑曾单位)
水分/×10-6
电阻率/Ω·cm
酸度(以 HCOOH 计)/×10-6
碱度(以 NH3 计)/×10-6
还原高锰酸钾物质(以 O 计)/×10-6
乙醇含量
醛和酮(以 HCHO 计)/×10-6
氯化物(Cl- )/×10-6
硫酸盐(SO2- 4 )/×10-6
磷酸盐(PO3- 4 )/×10-6
杂质最高含量/×10-9
锂(Li)
钠(Na)
钾(K)
铜(Cu)
银(Ag)
金(Au)
镁(Mg)
钙(Ca)
锶(Sr)
钡(Ba)
锌(Zn)
镉(Cd)
铝(Al)
镓(Ga)
硅(Si)
锗(Ge)
锡(Sn)
铅(Pb)
砷(As)
铬(Cr)
锰(Mn)
铁(Fe)
钴(Co)
镍(Ni) ≤2700
>99.9
—
<500
>1
<20
<1
<2.5
—
—
<1
<1
—
—
500
—
10
—
—
50
—
—
—
10
5
—
—
—
—
—
10
—
—
10
100
10
10 ≤300
>99.9
—
<500
>3
<20
<1
<2.5
—
—
—
—
—
1
5
3
1
2
—
1
3
1
5
2
1
5
—
—
—
—
3
—
5
5
1
1
1 ≤2000
>99.9
≤10
<500
>3
<20
<1
<5
合格
10
<0.2
—
<0.5
1
5
3
1
1
3
1
10
1
10
2
1
10
10
10
10
20
1
10
2
1
1
1
1
生产工艺路线 依工业甲醇含有水、丙酮、甲醛、乙醇和游离酸等杂质情况,采用不同
化学预处理方法,然后在高效精馏塔内进行精馏。所得甲醇如所含颗粒达不到质量要求,需
用02μm 微孔滤膜过滤。