。
流程说明 （参见图２９） 选用工业盐酸为原料，在预处理槽内加入氯化亚锡进行化学
预处理，将处理后的盐酸加入塔釜内，开始电加热，并给蒸馏塔冷凝器通冷却水，收集浓酸
和稀酸在储罐内，配制成３６％～３８％的盐酸。在超净工作台内分装成品，包装瓶应在超净
条件下清洗，经检查合格后，方可使用。如成品颗粒指标达不到质量标准，需经超净过滤。
图２９ 盐酸提纯生产流程图
产品规格 （主要指标）
项 目  ＭＯＳ级企标①
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅢ级②（相当
ＳｅｍｉＣ７标准）
０５μｍ 以上颗粒 项 目  ＭＯＳ级企标①
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅢ级②（相当
ＳｅｍｉＣ７标准）
０５μｍ 以上颗粒
颗粒 
含量／％ 
杂质最高含量／×１０－９
钠（Ｎａ）  ≤２７００个／１００ｍＬ 
３６．５～３８．５ 
５００  ≤２０个／ｍＬ
３６．５～３８．０
１０ 钙（Ｃａ） 
铝（Ａｌ） 
铁（Ｆｅ） 
砷（Ａｓ）  ５００ 
５０ 
２００ 
１０  １０
１０
５
５

① 北京化工厂企标。
② 北京化学试剂研究所标准。
性质 无色透明氯化氢水溶液，２５％以上盐酸在空气中发烟，有刺激性气味，呈强腐蚀
性、强酸性，能与水任意相溶，含量为３７％～３８％盐酸在２５℃时密度为１１９ｇ／ｍＬ。
用途 在微电子工业中，作为酸性清洗腐蚀剂，可以与双氧水配制使用。