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    乙酸丁酯 (集成电路用)
    2019-08-31 信息编号:1043462 收藏
英文名 nbutylacetate (forICuse)
性能及用途
(1)物化性能 沸点1265℃;密度 (25℃)088g/mL;折射率 (n20 D )13951。无色
透明液体,具有水果香味。微溶于水,能溶于乙醇、乙醚和烃类。
(2)主要用途 清洗去油剂、环化橡胶系负型光刻胶配套试剂。
产品质量标准
指 标 名 称  MOS级企业标准
5~10μm 颗粒 BVⅠ级企业标准
2μm 以上颗粒 ELUM 级企业标准
<05μm 以上颗粒
颗粒数/(个/100mL) 
含量/% 
色度(黑曾单位) 
水分/% 
游离酸(以 CH3COOH 计)/×10-6 
蒸发残渣/×10-6 
硫酸试验 
磷酸盐(PO3- 4 )/×10-6 
杂质最高含量/×10-9
锂(Li) 
钠(Na) 
钾(K)  ≤2700 
>970 
— 
<01 
<100 
— 
合格 
— 
— 
500 
—  ≤300 
>98 
— 
<005 
<50 
<10 
合格 
— 
1 
10 
10  ≤2000
>988
≤10
<02
<20
<5
合格
<05

10
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