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生产工艺路线 打开液氨钢瓶，在常温下挥发出氨气，控制流速，通过含有高锰酸钾、
ＥＤＴＡ 等的洗涤瓶，去除工业氨中杂质后，通入高纯氢氟酸中，当ｐＨ 值逐渐上升至６１～
６７时，停止通氨，所得溶液，经０２μｍ 微孔滤膜过滤即为产品。
２６ 乙二醇 （集成电路用）
英文名 ｅｔｈｙｌｅｎｅｇｌｙｃｏｌ （ｆｏｒＩＣｕｓｅ）
性能及用途
（１）物化性 能 沸 点 １９６～１９８℃； 密 度 （２５℃）１１１１～１１１５ｇ／ｍＬ； 折 射 率 （ｎ２０ Ｄ ）
１４３０。无色透明黏稠状液体，易吸潮，易燃。能与水、低级醇、甘油、醋酸、丙酮等混溶，
微溶于乙醚，不溶于苯、石油醚和卤代烃等。
（２）主要用途 清洗去油剂。
产品质量标准
指 标 名 标 ＭＯＳ级
企业标准
５～１０μｍ
颗粒 ＢＶⅠ级
企业标准
２μｍ 以上
颗粒 指 标 名 标 ＭＯＳ级
企业标准
５～１０μｍ
颗粒 ＢＶⅠ级
企业标准
２μｍ 以上
颗粒
颗粒数／（个／１００ｍＬ） 
含量／％ 
水分／×１０－６ 
游离酸（以 ＨＣＯＯＨ 计）／×１０－６ 
与水混合试验 
氯化物（Ｃｌ－ ）／×１０－６ 
硫酸盐（ＳＯ２－ ４ ）／×１０－６ 
杂质最高含量／×１０－９
锂（Ｌｉ） 
钠（Ｎａ） 
钾（Ｋ） 
铜（Ｃｕ） 
银（Ａｇ）  ≤２７００ 
＜５００ 
＜１０ 
合格 
＜１ 
＜１ 
— 
５００ 
— 
１０ 
—  ≤３００
＞９６０
＜５００
＜１０
—
—
—
５
３００
２０
５
１
镁（Ｍｇ） 
钙（Ｃａ） 
锶（Ｓｒ） 
钡（Ｂａ） 
锌（Ｚｎ） 
镉（Ｃｄ） 
铝（Ａｌ） 
铅（Ｐｂ） 
铬（Ｃｒ） 
锰（Ｍｎ） 
铁（Ｆｅ） 
钴（Ｃｏ） 
镍（Ｎｉ）  １０ 
— 
— 
— 
１０ 
１０ 
— 
１０ 
— 
１０ 
１００ 
１０ 
１０  １０
１０
１
１００
１０
１
１００
３
５
１
５０
１
１

生产工艺路线 依工业乙二醇所含水、二甘醇、三甘醇等杂质情况，可采取不同处理方
法，然后在高效精馏塔内进行精馏，所得乙二醇如颗粒达不到质量要求，需用０２μｍ 微孔
滤膜过滤。
２７ 环己烷 （集成电路用）
英文名 ｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｅ （ｆｏｒＩＣｕｓｅ）
性能及用途
（１）物化性能 沸点８０７℃；密度 （２５℃）０７７９ｇ／ｍＬ；折射率 （ｎ２０ Ｄ ）１４２６３。常温
下为无色透明液体，易燃，具有刺激性气味。不溶于水，易与乙醇、丙酮和苯相溶，其蒸气
与空气的混合物爆炸极限为１３１％～８３５％。
（２）主要用途 清洗剂。
产品质量标准
指 标 名 称  ＢＶⅠ级企业标准
２μｍ 以上颗粒  指 标 名 称  ＢＶ ２μⅠｍ级以企上业颗标粒准
颗粒数／（个／１００ｍＬ） ≤ 
含量／％ ＞ 
水分／％ ＜  ３００ 
９９．５ 
００２ 游离酸（以ＣＨ３ＣＯＯＨ 计）／×１０－６ ＜ 
硫酸试验  ３０
合格