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    异丙醇 (集成电路用)
    2019-08-31 信息编号:1043459 收藏
英文名 isopropanol (forICuse)
性能及用途
(1)物化性能 沸点823℃;密度 (25℃)0786g/mL;折射率 (n20 D )13775。
无色透明液体,有乙醇气味。溶于水、乙醇和乙醚等,与水形成共沸物。常温下可引火
第二章 超净高纯单质化学试剂 33
燃烧,其蒸气与空气的混合物爆炸极限为2%~12%。
(2)主要用途 清洗去油剂。
产品质量标准
指 标 名 称  MOS级企业标准
5~10μm 颗粒 BVⅠ级企业标准
2μm 以上颗粒 SemiC7标准
05μm 以上颗粒
颗粒数/(个/100mL) 
含量/% 
色度(黑曾单位) 
水分/×10-6 
游离酸(以 C2H5COOH 计)/×10-6 
蒸发残渣/×10-6 
电阻率/Ω·cm 
硫酸试验 
氯化物(Cl- )/×10-6 
硫酸盐(SO2- 4 )/×10-6 
磷酸盐(PO3- 4 )/×10-6 
硝酸盐(NO3- )/×10-6 
杂质最高含量/×10-9
锂(Li) 
钠(Na) 
钾(K) 
铜(Cu) 
银(Ag) 
金(Au) 
铍(Be) 
镁(Mg) 
钙(Ca) 
锶(Sr) 
钡(Ba) 
锌(Zn) 
镉(Cd) 
硼(B) 
铝(Al) 
镓(Ga) 
铊(Tl) 
硅(Si) 
锗(Ge) 
锡(Sn) 
铅(Pb) 
钛(Ti) 
锆(Zr) 
砷(As) 
锑(Sb) 
铋(Bi) 
钒(V) 
铌(Nb) 
钽(Ta) 
铬(Cr) 
钼(Mo) 
锰(Mn) 
铁(Fe) 
钴(Co) 
镍(Ni)  ≤2700 
>997 
— 
<1000 
<10 
— 
>10 
合格 
1000 
1000 
— 
— 
— 
50 
— 
10 
— 
— 
— 
10 
— 
— 
— 
10 
5 
— 
— 
— 
— 
— 
— 
— 
10 
— 
— 
— 
— 
— 
— 
— 
— 
— 
— 
50 
100 
10 
100  ≤300 
>995 
— 
<500 
<20 
<1 
>20 
合格 
— 
— 
— 
— 
1 
50 
3 
1 
2 
— 
— 
1 
3 
1 
5 
1 
1 
— 
5 
— 
— 
— 
— 
— 
3 
— 
— 
— 
— 
— 
— 
— 
— 
5 
— 
1 
1 
1 
1  ≤500
>998
≤10
<500

<2


50
50
50
<50
10
10
10
10


10
10
10
10
10
10
10

10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10

10
10


34 新型电子化学品生产技术与配方
生产工艺路线 依工业异丙醇所含水、游离酸等杂质情况,采用不同化学预处理方法,
然后在高效精馏塔 内 进 行 精 馏。所 得 产 品,如 颗 粒 达 不 到 质 量 要 求,需 用02μm 微 孔 滤 膜
过滤。
25 氟化铵溶液40% (集成电路用)
英文名 ammoniumfluoride40%solution (forICuse)
性能及用途
(1)物化性能 无色透明液体,在25℃时密度为1111g/mL。呈弱酸性。遇热分解。
(2)主要用途 清洗腐蚀液,与氢氟酸配制缓冲腐蚀液。
产品质量标准
指 标 名 称  MOS级企业标准
5~10μm 颗粒 BVⅠ级企业标准
2μm 以上颗粒  ELUM 级企业标准
颗粒数/(个/100mL) 
含量/% 
色度(黑曾单位) 
游离酸(以 HF计)/% 
(NH4)2SiF6/% 
水溶液pH 值 
氯化物(Cl- )/×10-6 
硫酸盐(SO2- 4 )/×10-6 
磷酸盐(PO3- 4 )/×10-6 
硝酸盐(NO3- )/×10-6 
亚硫酸盐(SO2- 3 )/×10-6 
杂质最高含量/×10-9
锂(Li) 
钠(Na) 
钾(K) 
铜(Cu) 
银(Ag) 
金(Au) 
铍(Be) 
镁(Mg) 
钙(Ca) 
锶(Sr) 
钡(Ba) 
锌(Zn) 
镉(Cd) 
铝(Al) 
镓(Ga) 
铟(In) 
锡(Sn) 
铅(Pb) 
钛(Ti) 
砷(As) 
锑(Sb) 
铋(Bi) 
铬(Cr) 
钼(Mo) 
锰(Mn) 
铁(Fe) 
钴(Co) 
镍(Ni) 
铂(Pt)  ≤2700 
390~410 
— 
— 
— 
6.2~7 
<4 
<2 
<1 
— 
— 
— 
100 
100 
100 
100 
100 
— 
500 
500 
— 
100 
100 
100 
500 
100 
100 
100 
500 
100 
50 
100 
100 
100 
100 
100 
500 
100 
100 
100  ≤300
40.0~41.0 
— 
— 
— 
6.1~6.7 
<0.5 
<1 
<0.4 
— 
— 
5 
50 
50 
5 
5 
3 
5 
50 
50 
1 
5 
5 
5 
50 
5 
5 
3 
5 
5 
20 
10 
5 
5 
5 
3 
50 
5 
5 
5  40.5±0.5
≤10
02
0.01

<1
<1
<1
<1
<1




























  • 主要用途 清洗去油剂
    。32新型电子化学品生产技术与配方产品质量标准指标名称MOS级企业标准5~10μm颗粒BVⅠ级企业标准2μm以上颗粒ELUM级企业标准05μm以上颗粒颗粒数/(个/100mL)含量/%色度(黑曾单位)水分/×10-6电阻率/Ω·cm酸度(以HCOOH计)/×10-6碱度(以NH3计)/×10-6还原高...
    08-31
  • 主要用途 光刻工艺中作溶剂
    。产品质量标准指标名称BVⅠ级企业标准2μm以上颗粒ELUM级企业标准05μm以上颗粒指标名称BVⅠ级企业标准2μm以上颗粒ELUM级企业标准05μm以上颗粒颗粒数/(个/100mL)含量/%色度(黑曾单位)水分/%游离酸(以CH3COOH计)/×10-6游离碱(以NH3计)/×10-6蒸...
    08-31
  • 超净高纯试剂的生产工艺路线与质量标准
    21磷酸(集成电路用)英文名phosphoricacid(forICuse)性能及用途(1)物化性能无色透明黏稠状液体,在25℃时密度为170g/mL。易溶于水和乙醇,受冷时可以从水溶液中生成柱状结晶,但熔点较低,稍加热即可熔化。当加热至150℃时,开始失去化合之水,至215℃可...
    08-31
  • MOS级超净高纯试剂
    级别目前,试剂所已经投入规模生产的主要有MOS级和BVⅢ级两个级别的超净高纯试剂,其中MOS级超净高纯试剂主要用于中小规模集成电路及分立器件的制作,BVⅢ级超净高纯试剂主要用于08~12μmIC工艺技术的制作。其主...
    08-31
  • 超净高纯试剂的规格与品种
    1主要品种产品主要包括硫酸、氢氟酸、过氧化氢(双氧水)、氢氧化铵(氨水)、硝酸、盐酸、氟化铵、磷酸、异丙醇、无水乙醇、甲醇、丙酮、丁酮、环己烷、乙酸丁酯、乙酸乙酯、甲苯、二甲苯等。...
    08-31
  • 常用的扩散源和扩散工艺
    见表213。表213常用的扩散源和扩散工艺序号类别源物质扩散工艺1固态源三氧化二硼(B2O3)、五氧化二磷(P2O5)热扩散工艺2液态源三溴化硼(BBr3)、三氯化硼(BCl3)、三氯氧磷(POCl3)、硼乳胶扩散源、磷酸三甲(乙)酯、硼酸三甲(乙)酯等热扩散工...
    08-31