英文名 isopropanol (forICuse)
性能及用途
(1)物化性能 沸点823℃;密度 (25℃)0786g/mL;折射率 (n20 D )13775。
无色透明液体,有乙醇气味。溶于水、乙醇和乙醚等,与水形成共沸物。常温下可引火
第二章 超净高纯单质化学试剂 33
燃烧,其蒸气与空气的混合物爆炸极限为2%~12%。
(2)主要用途 清洗去油剂。
产品质量标准
指 标 名 称 MOS级企业标准
5~10μm 颗粒 BVⅠ级企业标准
2μm 以上颗粒 SemiC7标准
05μm 以上颗粒
颗粒数/(个/100mL)
含量/%
色度(黑曾单位)
水分/×10-6
游离酸(以 C2H5COOH 计)/×10-6
蒸发残渣/×10-6
电阻率/Ω·cm
硫酸试验
氯化物(Cl- )/×10-6
硫酸盐(SO2- 4 )/×10-6
磷酸盐(PO3- 4 )/×10-6
硝酸盐(NO3- )/×10-6
杂质最高含量/×10-9
锂(Li)
钠(Na)
钾(K)
铜(Cu)
银(Ag)
金(Au)
铍(Be)
镁(Mg)
钙(Ca)
锶(Sr)
钡(Ba)
锌(Zn)
镉(Cd)
硼(B)
铝(Al)
镓(Ga)
铊(Tl)
硅(Si)
锗(Ge)
锡(Sn)
铅(Pb)
钛(Ti)
锆(Zr)
砷(As)
锑(Sb)
铋(Bi)
钒(V)
铌(Nb)
钽(Ta)
铬(Cr)
钼(Mo)
锰(Mn)
铁(Fe)
钴(Co)
镍(Ni) ≤2700
>997
—
<1000
<10
—
>10
合格
1000
1000
—
—
—
50
—
10
—
—
—
10
—
—
—
10
5
—
—
—
—
—
—
—
10
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
50
100
10
100 ≤300
>995
—
<500
<20
<1
>20
合格
—
—
—
—
1
50
3
1
2
—
—
1
3
1
5
1
1
—
5
—
—
—
—
—
3
—
—
—
—
—
—
—
—
5
—
1
1
1
1 ≤500
>998
≤10
<500
—
<2
—
—
50
50
50
<50
10
10
10
10
5
5
10
10
10
10
10
10
10
5
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
5
10
10
34 新型电子化学品生产技术与配方
生产工艺路线 依工业异丙醇所含水、游离酸等杂质情况,采用不同化学预处理方法,
然后在高效精馏塔 内 进 行 精 馏。所 得 产 品,如 颗 粒 达 不 到 质 量 要 求,需 用02μm 微 孔 滤 膜
过滤。
25 氟化铵溶液40% (集成电路用)
英文名 ammoniumfluoride40%solution (forICuse)
性能及用途
(1)物化性能 无色透明液体,在25℃时密度为1111g/mL。呈弱酸性。遇热分解。
(2)主要用途 清洗腐蚀液,与氢氟酸配制缓冲腐蚀液。
产品质量标准
指 标 名 称 MOS级企业标准
5~10μm 颗粒 BVⅠ级企业标准
2μm 以上颗粒 ELUM 级企业标准
颗粒数/(个/100mL)
含量/%
色度(黑曾单位)
游离酸(以 HF计)/%
(NH4)2SiF6/%
水溶液pH 值
氯化物(Cl- )/×10-6
硫酸盐(SO2- 4 )/×10-6
磷酸盐(PO3- 4 )/×10-6
硝酸盐(NO3- )/×10-6
亚硫酸盐(SO2- 3 )/×10-6
杂质最高含量/×10-9
锂(Li)
钠(Na)
钾(K)
铜(Cu)
银(Ag)
金(Au)
铍(Be)
镁(Mg)
钙(Ca)
锶(Sr)
钡(Ba)
锌(Zn)
镉(Cd)
铝(Al)
镓(Ga)
铟(In)
锡(Sn)
铅(Pb)
钛(Ti)
砷(As)
锑(Sb)
铋(Bi)
铬(Cr)
钼(Mo)
锰(Mn)
铁(Fe)
钴(Co)
镍(Ni)
铂(Pt) ≤2700
390~410
—
—
—
6.2~7
<4
<2
<1
—
—
—
100
100
100
100
100
—
500
500
—
100
100
100
500
100
100
100
500
100
50
100
100
100
100
100
500
100
100
100 ≤300
40.0~41.0
—
—
—
6.1~6.7
<0.5
<1
<0.4
—
—
5
50
50
5
5
3
5
50
50
1
5
5
5
50
5
5
3
5
5
20
10
5
5
5
3
50
5
5
5 40.5±0.5
≤10
02
0.01
—
<1
<1
<1
<1
<1
1
5
5
1
1
—
—
1
5
1
1
5
1
5
—
—
—
2
—
5
—
—
1
—
1
5
1
1
—