超净高纯单质化学试剂 ３９
 以电解法制备的工业过氧化氢为原料，结合化学处理，在高效蒸馏塔内
进行减压蒸馏，用串联几个水冷接收器接收过氧化氢 （前边接收器内为高浓过氧化氢），将
接收到的过氧化氢混配成所需浓度。也可采用混床离子交换树脂来精制过氧化氢。如产品所
含颗粒达不到质量要求，需用０２μｍ 微孔滤膜过滤。
２１１ 丙酮 （集成电路用）
英文名 ａｃｅｔｏｎｅ （ｆｏｒＩＣｕｓｅ）
性能及用途
（１）物化性能
沸点５６５℃；密 度 （２０℃）０７９０～０７９３ｇ／ｍＬ；折 射 率 （ｎ２０ Ｄ ）１３５９１。无 色 透 明 液
体，挥发性强，有刺激性臭味，易燃。易溶于水、乙醇、乙醚等有机溶剂中。其蒸气与空气
的混合物爆炸极限为２５５％～１２８０％。
（２）主要用途 清洗去油剂，可以与乙醇、甲苯搭配使用。
产品质量标准
指 标 名 称  ＭＯＳ级企业标准
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅠ级企业标准
２μｍ 以上颗粒 ＥＬＵＭ 级企业标准
０５μｍ 以上颗粒
颗粒数／（个／１００ｍＬ） 
含量／％ 
色度（黑曾单位） 
水分／％ 
水溶解试验 
蒸发残渣／×１０－６ 
游离酸（以 ＣＨ３ＣＯＯＨ 计）／×１０－６ 
游离碱（以 ＮＨ３ 计）／×１０－６ 
还原高锰酸钾物质（以 Ｏ 计）／×１０－６ 
醛（以 Ｈ２ＣＯ 计）／×１０－６ 
甲醇／×１０－６ 
氯化物（Ｃｌ－ ）／×１０－６ 
磷酸盐（ＰＯ３－ ４ ）／×１０－６ 
电阻率／Ω·ｃｍ 
杂质最高含量／×１０－９
锂（Ｌｉ） 
钠（Ｎａ） 
钾（Ｋ） 
铜（Ｃｕ） 
银（Ａｇ） 
金（Ａｕ） 
镁（Ｍｇ） 
钙（Ｃａ） 
锶（Ｓｒ） 
钡（Ｂａ） 
锌（Ｚｎ） 
镉（Ｃｄ） 
铝（Ａｌ） 
镓（Ｇａ） 
硅（Ｓｉ） 
锗（Ｇｅ） 
锡（Ｓｎ）  ≤２７００ 
＞９９５ 
— 
＜０２ 
— 
— 
＜２０ 
＜２ 
＜２５ 
— 
— 
— 
— 
＞５ 
— 
５００ 
— 
１０ 
— 
— 
５０ 
— 
— 
— 
１０ 
５ 
— 
— 
— 
— 
—  ≤３００ 
＞９９５ 
— 
＜０２ 
合格 
— 
＜１０ 
＜５ 
＜２５ 
— 
— 
— 
— 
＞２０ 
１ 
１０ 
３ 
１ 
２ 
— 
１ 
３ 
１ 
５ 
１ 
１ 
５ 
— 
— 
— 
—  ≤２０００
＞９９８
≤１０
＜０２
合格
＜１
＜１０
＜１
＜２
＜２０
＜５００
０２
０１
＞２０
１
１０
３
１
１
１
１
１
１
１０
１
１
１０
１０
１０
１０
２０


４０ 新型电子化学品生产技术与配方
续表
指 标 名 称  ＭＯＳ级企业标准
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅠ级企业标准
２μｍ 以上颗粒 ＥＬＵＭ 级企业标准
０５μｍ 以上颗粒
铅（Ｐｂ） 
砷（Ａｓ） 
铬（Ｃｒ） 
锰（Ｍｎ） 
铁（Ｆｅ） 
钴（Ｃｏ） 
镍（Ｎｉ）  １０ 
— 
— 
１０ 
５０ 
１０ 
１０  ３ 
— 
５ 
１ 
１ 
１ 
１  １
１０
２
１
１
１
１

生产工艺路线 以工业丙酮为原料，采用无水碳酸钾或０４μｍ 分子筛等方法脱水，加
高锰酸钾溶液去除还原性有机物等化学处理，然后在高效精馏塔内进行精馏，收集沸程为
５５～５７℃的馏出物。如颗粒达不到质量要求，需用０２μｍ 微孔滤膜过滤。
２１２ 乙酸 （集成电路用）
英文名 ａｃｅｔｉｃａｃｉｄ （ｆｏｒＩＣｕｓｅ）
性能及用途
（１）物化性能 沸点１１８℃。密度 （２５℃）１０５ｇ／ｍＬ。折射率 （ｎ２０ Ｄ ）１３７１８。无色透
明液体，具有刺激性气味，易燃，在低温下凝结为薄片结晶，其熔点１６２℃。乙酸系弱酸，
其离解常数为１７４×１０－５。能与水、乙醇和乙醚等混溶。
（２）主要用途 弱酸性腐蚀剂，可以与过氧化氢、硝酸配制强酸性氧化剂使用。
产品质量标准
指 标 名 称  ＭＯＳ级企业标准
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅠ级企业标准
２μｍ 以上颗粒 ＥＬＵＭ 级企业标准
０５μｍ 以上颗粒
颗粒数／（个／１００ｍＬ） 
含量／％ 
色度（黑曾单位） 
水分／％ 
氯化物（Ｃｌ－ ）／×１０－６ 
硫酸盐（ＳＯ２－ ４ ）／×１０－６ 
磷酸盐（ＰＯ３－ ４ ）／×１０－６ 
乙醛／×１０－６ 
还原重铬酸钾物质 
还原高锰酸钾物质 
杂质最高含量／×１０－９
锂（Ｌｉ） 
钠（Ｎａ） 
钾（Ｋ） 
铜（Ｃｕ） 
银（Ａｇ） 
金（Ａｕ） 
铍（Ｂｅ） 
镁（Ｍｇ） 
钙（Ｃａ） 
锶（Ｓｒ） 
钡（Ｂａ） 
锌（Ｚｎ）  ≤２７００ 
＞９９８ 
— 
— 
＜１ 
＜１ 
＜１ 
＜２ 
合格 
２０ 
１００ 
１００ 
２０ 
２０ 
１００ 
— 
１００ 
１００ 
— 
１００ 
５０  ≤３００ 
＞９９８ 
— 
— 
＜０１ 
＜０５ 
＜０５ 
＜２ 
合格 
５ 
５０ 
１０ 
２ 
５ 
３ 
５ 
１０ 
２０ 
１ 
５ 
５  ≤３０００
＞９９８
≤１０
＜０２
＜０１
＜０５
＜０５
—
合格
合格
１
１００
１０
１
１
１
—
１０
２０
１
１０
１０


第二章 超净高纯单质化学试剂 ４１
续表
指 标 名 称  ＭＯＳ级企业标准
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅠ级企业标准
２μｍ 以上颗粒 ＥＬＵＭ 级企业标准
０５μｍ 以上颗粒
镉（Ｃｄ） 
硼（Ｂ） 
铝（Ａｌ） 
镓（Ｇａ） 
铟（Ｉｎ） 
硅（Ｓｉ） 
锗（Ｇｅ） 
锡（Ｓｎ） 
铅（Ｐｂ） 
钛（Ｔｉ） 
砷（Ａｓ） 
锑（Ｓｂ） 
铋（Ｂｉ） 
铬（Ｃｒ） 
钼（Ｍｏ） 
锰（Ｍｎ） 
铁（Ｆｅ） 
钴（Ｃｏ） 
镍（Ｎｉ） 
铂（Ｐｔ）  ５０ 
２０ 
５０ 
２０ 
２０ 
— 
— 
５０ 
５０ 
５０ 
２０ 
２０ 
２０ 
２０ 
１００ 
２０ 
２００ 
２０ 
２０ 
１００  ２ 
１０ 
１０ 
５ 
５ 
— 
— 
３０ 
— 
５ 
５ 
３０ 
５ 
— 
５ 
１ 
１０ 
２ 
５ 
３  １
１０
１０
１０
—
１０
１０
２０
１
—
５
—
—
２
—
１
２０
１
５
—

生产工艺路线 依工业乙酸质量情况，可采取化学预处理方法。为了去除水分和痕量乙
醛，可加入少量醋酸酐和高锰酸钾，然后在高效精馏塔内精馏，在超净环境下接收样品。如
产品所含颗粒达不到质量要求，需用０２μｍ 微孔滤膜过滤。