主要原料及其规格 一般以城市自来水为原水。
消耗定额
原水 （以生产每吨电子级水计）约为１８ｔ。
制法 一般城市自来水为原水，通常总含盐量在 （２００～５００）×１０－６范围内，预处理可
选无烟煤和石英砂作为多介质过滤器滤料和活性炭吸附，对原水机械杂质、有机物、细菌进
行去除，而对无机离子效果不大。
采用反渗透膜技术可以去除水中溶解性无机盐、有 机 物、胶 体、微 生 物、热 原 及 病 毒
第二章 超净高纯单质化学试剂 ４３
等。反渗透膜一般为醋酸纤维素、聚酰胺复合膜，其孔径为０４～１０ｎｍ，当施加压力超过
自然渗透压时，原水中盐类、细菌及不溶物质被截留，而穿过半透膜为含盐量低的淡水，脱
盐率可达９５％以上。
离子交换混合床为去除无机离子的主要方法，可去除溶解的０２～０８ｎｍ 大小无机盐，
溶解的气体、ＳＯ２、ＮＨ３ 而达到净化水的目的。
微滤是制备电子级水关键技术之一，微孔过滤是目前应用最广泛的膜 分 离 技 术。通 过
０１～１０μｍ 微孔膜过滤可以去除溶液中微粒、胶体、微生物和细菌。在电子级水制备工艺
中，采用粗滤 （３～１０μｍ） 过 滤 器 和 精 滤 （０２μｍ 或０４５μｍ） 过 滤 器，可 以 去 除 水 中 微
粒、树脂碎片、细菌等。精滤常用于水终端或用水再处理。
在精处理系统中采用两级在线紫外杀菌器 （一级为１８５ｎｍ 杀菌器，另一级为２５４ｎｍ 杀
菌器），来杀灭水中细菌微生物。
流程说明 （参见图２４） 将原水注 入 原 水 储 罐 中，经 原 水 泵 注 入 多 介 质 过 滤 器，活 性
炭吸附罐，再进入反渗透装置，脱去原水中大部分盐类。经反渗透处理后的水，通过离子交
换初混床去除无机离子，再经３μｍ 过滤器进入初纯水槽。循环泵将初纯水槽的水注入离子
交换精混床，并通过在线紫外杀菌器，进入精滤器。通过终端０２μｍ 微孔过滤的水，即为
微电子工业用水或超净高纯试剂制备用水。
