英文名 ｈｙｄｒｏｆｌｕｏｒｉｃａｃｉｄ４０％，５０％ （ｆｏｒＩＣｕｓｅ）
主要原料及其规格 工业氢氟酸 （优级品）含量≥４０％ （ＧＢ７７４４—８７）
消耗定额 （以生产每吨氢氟酸计）
工业氢氟酸 约１３ｔ
制法 依原料氢氟酸质量情况，对其关键杂质硅、硼、砷、磷 及 有 机 物 进 行 化 学 预 处
理。然后在高效精馏塔内进行精馏 （塔为四氟乙烯材质），成品收集在储罐内，在超净工作
台内分装产品。
流程说明 （参见图２６） 选用工 业 氢 氟 酸 （优 级 品） 为 原 料，在 预 处 理 槽 内 加 入 化 学
处理剂进行混合，放置沉降后，将处理后的氢氟酸，加入塔釜内 （银釜或四氟乙烯釜），开
始加热，并给精馏塔冷凝器通冷却水，成品收集在储罐内。然后在超净工作台内分装成品，
包装瓶应符合洁净度要求，如成品颗粒指标达不到质量标准，需经超净过滤 （过滤设备均为
四氟乙烯材质）。
图２６ 氢氟酸提纯生产流程图
产品规格 （主要指标）
项 目  ＭＯＳ级企标①
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅢ级②（相当
ＳｅｍｉＣ７标准）
０５μｍ 以上颗粒 项 目  ＭＯＳ级企标①
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅢ级②（相当
ＳｅｍｉＣ７标准）
０５μｍ 以上颗粒
颗粒 
含量／％ 
杂质最高含量／×１０－９
钠（Ｎａ） 
钙（Ｃａ）  ≤２７００个／１００ｍＬ 
＞４０．０ 
２００ 
１００  ≤１０个／１０ｍＬ
４８．８～４９．２
１０
１０ 铝（Ａｌ） 
铁（Ｆｅ） 
砷（Ａｓ） 
银（Ａｇ）  １００ 
１００ 
５０ 
２０  １０
１０
５
５

① 北京化工厂企标。
② 北京化学试剂研究所标准。
性质 氢氟酸是氟化氢的水溶液，无色透明液体。在２５℃时密度为１１５３ｇ／ｍＬ （５０％
ＨＦ），其蒸气具有刺激性并有毒、接触皮肤可引起严重烧伤且不易治愈，应先用大量水冲洗
后就医。对金属、玻璃、混凝土等具有强烈腐蚀性。
用途 在微电子工业中作为强酸性腐蚀剂，可以与硝酸、乙酸、双氧水、氨水配制使用。
２１７ 过氧化氢 （集成电路用）
英文名 ｈｙｄｒｏｇｅｎｐｅｒｏｘｉｄｅ （ｆｏｒＩＣｕｓｅ）
４６ 新型电子化学品生产技术与配方
主要原料及其规格 工业过氧化氢 （电解法制备）含量＞２７５％ （ＧＢ１６１６—７９）。
消耗定额 （以生产每吨过氧化氢计）
工业过氧化氢 约１６ｔ
制法 采用电解法制备的工业过氧化氢为原料，在高效蒸馏塔内进行减压蒸馏，再串联
几个水冷接收器接收过氧化氢 （前边接收器内为高浓过氧化氢），用高浓、低浓过氧化氢配
制成所需浓度过氧化氢。在超净工作台内分装成品。
流程说明 （参见图２７） 采 用 电 解 法 制 备 的 过 氧 化 氢 为 原 料，加 入 列 管 式 蒸 发 器 内，
调节蒸汽阀门控制蒸发速度，经减压蒸馏后，再串联几个水冷接收器收集过氧化氢，然后将
不同接收器内过氧化氢混配成所需的浓度。在超净工作台内分装成品，包装瓶应符合洁净度
要求，如成品颗粒指标达不到质量标准，需经超净过滤。
图２７ 过氧化氢提纯生产流程图
产品规格 （主要指标）
项 目  ＭＯＳ级企标①
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅢ级②（相当
ＳｅｍｉＣ７标准）
０５μｍ 以上颗粒 项 目  ＭＯＳ级企标①
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅢ级②（相当
ＳｅｍｉＣ７标准）
０５μｍ 以上颗粒
颗粒 
含量（％） 
杂质最高含量／×１０－９
钠（Ｎａ）  ≤２７００个／１００ｍＬ 
＞３０ 
５００  ≤１０个／ｍＬ
３０．０～３２．０
１０ 钙（Ｃａ） 
铝（Ａｌ） 
铁（Ｆｅ）  ２００ 
５００ 
１００  １０
１０
１０

① 北京化工厂企标。
② 北京化学试剂研究所标准。
性质 无色透明液体，３０％ Ｈ２Ｏ２ 在２５℃时密度为１１１ｇ／ｍＬ，与水、乙醇和乙醚相混
溶。过氧化氢是极弱的酸，是强氧剂，在某些情况下，又是还原剂。高浓度过氧化氢能使有
机物燃烧，与二氧化锰作用会发生爆炸。在贮存时能分解成水和氧。溅到皮肤上引起灼烧和
发痒，使皮肤变白，但伤处经水洗后数小时，症状可消失。
用途 在微电子工业中作为清洗腐蚀剂，可与硫酸、硝酸、氢氟酸和氨水配制使用。