产品规格 （主要指标）
项 目  ＭＯＳ级企标①
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅢ② （相当
ＳｅｍｉＣ７标准）
０５μｍ 以上颗粒 项 目  ＭＯＳ级企标①
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅢ②（相当
ＳｅｍｉＣ７标准）
０５μｍ 以上颗粒
颗粒 
含量／％ 
杂质最高含量／×１０－９
钠（Ｎａ） 
钙（Ｃａ）  ≤２７００个／１００ｍＬ 
＞９６０ 
２００ 
２００  ≤３０个／ｍＬ
９５０～９７０
１０
１０ 铝（Ａｌ） 
铁（Ｆｅ） 
铅（Ｐｂ） 
砷（Ａｓ）  ５０ 
１００ 
５０ 
１０  １０
１０
１０
５

① 北京化工厂企标。
② 北京化学试剂研究所标准。
性质 无色 透 明 油 状 液 体， 在 ２５℃ 时 密 度 为 １８３ｇ／ｍＬ， 含 量 ９８３％ 的 硫 酸 沸 点 为
３３８℃。硫酸具有强烈吸水性，可作为优良的干燥剂，同时能从含氢氧元素纸、木、布等有
机物按水的组成夺取水使之炭化，甚至着火，由于硫酸溶解热大，在稀释时应将硫酸在不断
搅拌下慢慢地加入水中，以免温度猛烈上升。
用途 在微电子工业中作为强酸性清洗腐蚀剂。使用时，可与双氧水配制使用。