产品规格
项 目 电子级水标准（ＧＢ１１４４６—８９）
ＥＷⅠ ＥＷⅡ ＥＷⅢ ＥＷⅣ ＥＷⅤ
电阻率（２５℃）／ＭΩ·ｃｍ
大于１μｍ 颗粒数／（个／ｍＬ）
钠含量（最大值）／（μｇ／Ｌ）
铁含量（最大值） １８
（９０％时间）
最小１７
１
０５
０５ １５
（９０％时间）
最小１２
５
５
５ １０
（９０％时间）
最小８
１０
１０
１０ ≥２
１００
２００
１００ ≥０５
５００
１０００
５００
性质 无色透明液体，无臭、无味。在４℃时密度为１００００００ｇ／ｍＬ，理论纯水电阻率
（２５℃）为１８２５ＭΩ·ｃｍ，ｐＨ 值 （２５℃）为６９９９。
用途 在微电子工业中或在超净高纯试剂制备中，作为清洗剂，使用极广，用量极大。
４４ 新型电子化学品生产技术与配方
２１５ 硫酸 （集成电路用）
英文名 ｓｕｌｆｕｒｉｃａｃｉｄ （ｆｏｒＩＣｕｓｅ）
主要原料及其规格 工业硫酸 （优级品）含量≥９２５％ （ＧＢ５３４—８９）。
消耗定额 （以生产每吨硫酸计） 工业硫酸 约１２ｔ
制法 工业硫酸一般呈微黄色黏稠液体，精馏提纯前经化学预处理，加 入 氧 化 剂 （如
ＫＭｎＯ４）使其还原物质氧化。
在高效石英精馏塔内进行精馏，控制回流比，稳定精馏速度，收集成品在储罐内。
在超净工作台内分装成品，如颗粒指标达不到质量标准，成品需经超净过滤。
流程说明 （参 见 图 ２５） 选 用 工 业 硫 酸 （优 等 品） 为 原 料， 在 预 处 理 槽 加 入 适 量
ＫＭｎＯ４ 混合，放置沉降后，将处理后的硫酸加入石英精馏塔釜内，开始电加热，并给精馏
塔冷凝器通冷却水，控制回流比，待精馏速度稳定后，收集成品在储罐内。然后在超净工作
台内分装成品，包装瓶需在超净条件下清洗，经检查合格后，方可使用。如成品颗粒指标达
不到质量标准，需经超净过滤。
