产品规格 （主要指标）
项 目  ＭＯＳ级企标①
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅢ级②（相当
ＳｅｍｉＣ７标准）
０５μｍ 以上颗粒 项 目  ＭＯＳ级企标①
５～１０μｍ 颗粒 ＢＶⅢ级②（相当
ＳｅｍｉＣ７标准）
０５μｍ 以上颗粒
颗粒 
含量／％ 
杂质最高含量／×１０－９
钠（Ｎａ）  ≤２７００个／１００ｍＬ 
６９．０～７１．０ 
３００  ≤１５个／ｍＬ
７０．０～７１．０
５ 钙（Ｃａ） 
铝（Ａｌ） 
铁（Ｆｅ） 
砷（Ａｓ）  １００ 
５０ 
２００ 
１０  １０
５
５
１０

① 北京化工厂企标。
② 北京化学试剂研究所标准。
性质 无色透明液体，能与水混溶，为强酸、强氧化剂。含量为７０％硝酸，在２５℃时
密度为１４２ｇ／ｍＬ，受热或受日光照射会发生分解，产生二氧化氮，使硝酸变为浅黄色。能
使有机物氧化或硝化。
用途 在微电子工业中作为强酸性清洗腐蚀剂，可与冰醋酸、双氧水配制使用。