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    氢氧化铵 (集成电路用)
    2019-08-31 信息编号:1043471 收藏
英文名 ammoniumhydroxide (forICuse)
主要原料及其规格
工业钢瓶液氨 含量995%
第二章 超净高纯单质化学试剂 49
消耗定额 (以生产每吨氢氧化铵计)
工业液氨 约122t
制法 以工业 钢 瓶 液 态 氨 为 原 料,在 常 温 下 挥 发 出 氨 气,控 制 其 流 速,经 高 锰 酸 钾、
EDTA 等气体洗涤塔后,去除工业氨中杂质。
处理后氨气经微孔滤膜过滤,通入高纯水中进行吸收,当含量达到25% 以上时,停止
通氨。
氨的水溶液再经02μm 微孔过滤,即为成品。在超净工作台内进行分装。
流程说明 (参见图210) 以工业钢瓶液态氨为原料,在常温下挥发出氨气,调节控制
阀控制其流速,通入高锰酸钾、EDTA 等洗涤塔,去除工业氨中杂质。
处理后氨气,经微孔过滤器,再通入装有高纯水吸收罐内吸收氨,当含量达到25% 以
上时,停止通氨。吸收罐需用冷水冷却。
氨的水溶液再经02μm 微孔过滤器过滤即为成品。选择化学稳定性好的聚乙烯瓶,在
超净环境下进行洗瓶和分装。
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